A félvezető gyártási igények ultra - pontos, korrózió - ellenálló csatornák:
Dimenziós pontosság:
A 316L rozsdamentes acél csatornák (ASTM A276) szoros tűrésű (± 0,1 mm) 0,5 mm -es távolságot tartanak fenn az ostyaállványok számára, kritikus az 5NM chipek előállításához. A Tajvan TSMC -je az U - 80 × 40 × 5 mm -es méretű csatornákat használ, hogy megakadályozzák a részecskék beillesztését.
Kémiai ellenállás:
A 2,5% molibdén -tartalommal rendelkező csatornák ellenállnak a hidrofluorinsav (HF) expozíciónak, amely 1, 000+ tisztítási ciklusokat végez, pontozás nélkül. A dél -koreai Samsung ezeket a 300 mm -es ostyafabjaikban alkalmazza, csökkentve a berendezések cseréjét 70%-kal.
Felszíni kivitel:
Electro - csiszolt csatornák (RA kevesebb vagy 0,02 μm) minimalizálja a részecskék adhéziót, megfelel a félig F20 1. osztályú szabványoknak. Japán Tokiói Electron meghatározza a JIS G4305 SUS316 csatornákat ehhez a kritikus követelményhez.
Regionális örökbefogadás:
Az amerikai félvezető növények ASTM A479 csatornákat használnak, minimális vastagságú, míg Kína SMIC a GB/T 1220 06 CR17NI12MO2 csatornákat részesíti előnyben.