Semiconductor - H. fokozat - Beam követelmények:
Részecske -szabályozás:
Elektromos h - gerendák (316L) felületi érdességgel<0.2μm prevent particle generation in Taiwan's TSMC 5nm fabs, meeting SEMI F20 Class 1.
Rezgés -elszigetelés:
H - Az aktív piezoelektromos lengéscsillapítókra szerelt gerendák elérik<10 nm/s² acceleration in ASML's EUV lithography rooms, used in Netherlands' Brainport region.
Tiszta szoba megfelelés:
H - passzivált hegesztési gerendák (ASTM A262 gyakorlat) ellenállnak a Semiconductor vegyi anyagok korróziójának, a Samsung Pyeongtaek Fabs számára tanúsítva.